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LCD susceptor최종 수정 일자 : 2020-09-17 11:12:13
LCD susceptor
LCD 박막 증착에 사용되는 hot plate로서 패터느이 설계에 의하여 전체적인 온도 균일성이 좌우된다.
점차 glass size 의 대형화 추세에 따라 온도 균일성확보의 중요성이 더욱 커지고 있다.
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